＜装置の概要＞

　フォトマスクとウエハー間を隔した状態で焼き付ける、プロキシミティーマスクアライナーです。
　用途に応じ、アライメント時のセパレーション量を０～４８μmまで、２μm単位で容易に選択することができます。
　焼付け面積は、最大φ125mm（5"）まで取ることができます。
　また、焦点深度の深いアライメントスコープにより、フォトマスクとウエハーの像を、セパレーション状態で シャープに観察できます。
　焼付け方式を、簡単なスイッチ操作でハードコンタクト方式（真空方式）、あるいは ソフトコンタクト方式に切り換えることができます。